원자로 냉각수 정제 시스템을위한 실리카 제거 방법 ION Exchange Resin 등록 번호 발명 이름 제공 방법 특허 번호 6178095 원자로 냉각수 정제 시스템을위한 실리카 제거 방법 및 실리카 흡착량 추정 방법 특허 사용